? 吉佳藍納米級全自動納米壓印設備順利交付|進一步強化在下一代光學·半導體工藝市場中的吉佳競爭力 【ZiDongHua 之“半導體產業鏈”標注關鍵詞： 吉佳藍 壓印設備 MGM】 出貨成功！吉佳藍納米級全自動納米壓印設備順利交付！藍納利交 吉佳藍中國總部項目2臺納米壓印設備成功出貨！米級米壓 近日，全自吉佳藍中國總部迎來了具有里程碑意義的動納時刻——首批次納米壓印設備（CITUS系列）已成功通過客戶工藝驗證，順利裝箱發貨！印設這標志著吉佳藍中國已完全具備高端半導體設備的備順量產及交付能力，從落戶到出貨跑出了令人矚目的吉佳“加速度”。 
MGM壓印設備是藍納利交一個高精度工藝平臺。MGM 提供滾壓RtoP以及 真空面壓PtoP 等多種工藝方案，米級米壓壓印精度<20nm,全自 殘余層控制<10nm, 高準對精度工藝設備，量產性機臺同時提供軟膜加工以及壓印全自動一體化，動納月產能 30k pcs,印設 滿足高工藝要求的同時符合客戶要求的高量產需求。 → 勻膠模式 ： 旋涂，備順噴墨，吉佳點涂 → 兼容 2~12inch 晶圓 & 300mm*300mm 方片 → 對準精度 ±2um → 雙工藝模塊，"軟膜加工+壓印工藝"同步完成 → 提供壓印代工服務 吉佳藍銷售總監王琦表示："壓印設備的競爭力，不單單在于實現微細圖案的層面，更在于能否以足夠精密、穩定且具備高生產率的方式執行工藝。將以高精度轉印技術、工藝再現性、生產率，以及與壓印樹脂和模具用樹脂相銜接的綜合應對能力為基礎，進一步強化在下一代光學·半導體工藝市場中的競爭力。"不僅限于設備更有樹脂質水、母版、軟膜等工藝材料，整體解決方案！ MGM區別于其他企業的獨特優勢在于，除了壓印設備之外，它還擁有自主開發并供應工藝核心材料——即壓印樹脂和模具用樹脂的能力。納米壓印工藝并非僅靠設備性能就能完成，還需要根據圖案形狀、脫模特性、固化行為、耐久性、基板適配性等多種變量，同步優化樹脂特性。 →1.25~1.92折射率膠水 （氧化鋯，氧化鈦粒子，波長 589nm) →高刻蝕高選擇比膠水 （金屬選擇比 4：1） →超高粘度膠水 （高矢高&大直徑 - 透鏡專用） →50nm級別母版，子模具（PET, TaC 等）等工藝材料提供 MGM能夠自主應對這些材料領域，因此其優勢在于能夠根據客戶的結構設計和應用目的，同步協調設備條件和材料物性。這意味著MGM能夠提供超越單純設備供應層面的、針對客戶實際工藝進行優化的解決方案。 尤其值得一提的是，MGM設備設計得即使在大面積基板上也能實現均勻的圖案轉印，這被視為其差異化亮點。將微細圖案的線寬、高度及殘留膜厚度偏差最小化的技術，與量產工藝中的良率穩定性直接相關，也是尖端光學零部件及半導體應用領域所必需的性能。加之其具備材料自主開發能力，MGM進一步強化了針對不同客戶工藝條件和結構特性的定制化應對能力。 工藝領域 ： AR、Lens、WGP、Waveguide、LED、Bio 等多種尖端產業領域。 精通高傾斜角斜齒光柵壓印（> 45°），閃耀以及高深寬比垂直光柵（>10 ：1）等。 MGM設備的競爭力并不僅限于精度。在實際產業現場，除了高分辨率之外，工藝速度、重復穩定性、維護運行效率等生產率方面的要求也同樣重要。MGM的壓印設備基于均勻的加壓控制、穩定的工藝條件維持以及在重復工藝中的高再現性，在確保客戶所需的生產率方面也展現出優勢。這不僅提升了在研發階段制作試產樣品的價值，也增強了其作為未來可應用于量產的工藝平臺的價值。?
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